ISS Europe 2025 StdPbc-0326 本スタンダードは,300 mm径ウェーハキャリア(搬送用カセット,プロセスカセット,クォーツボート,ポッド,ロットボックス,シッピングボックスを含む)を人間工学的に設置し,正確に支持するのに使用される,自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する。これらのキネマティックカプリングは次のようなインタフェースにおいて使用される。
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Description
本スタンダードは,300 mm径ウェーハキャリア(搬送用カセット,プロセスカセット,クォーツボート,ポッド,ロットボックス,シッピングボックスを含む)を人間工学的に設置し,正確に支持するのに使用される,自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する。これらのキネマティックカプリングは次のようなインタフェースにおいて使用される。
本法は,異なったP/T(精度/許容)比を持つ測定装置購入の事前評価に役立つよう意図されている。また本法は,1つの測定装置において,P/T比が用いられるスループットモードあるいは他の装置のセットアップ要因によって変化する場合,異なったスループットモードでの操作比較を行うのに役立つよう意図されている。本法は,使用者が特定のプロセス能力と必要条件に基づく最適な費用解決策を選択する助けとなる。
and reporting levels)
users can learn more about polymers' unique characteristics
Test Method A — Hot-Probe Thermal EMF Conductivity-Type Test
ISS Europe 2025 StdPbc-0326 本スタンダードは,300 mm径ウェーハキャリア(搬送用カセット,プロセスカセット,クォーツボート,ポッド,ロットボックス,シッピングボックスを含む)を人間工学的に設置し,正確に支持するのに使用される,自動位置決め機構であるキネマティックカプリングを規定する。これらのキネマティックカプリングは次のようなインタフェースにおいて使用される。ISS Europe 2025
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