G07900 - SEMI G79 - Specification for Overall Digital Timing Accuracy Revision:SEMI G79-0200 - Inactive SEMI E19 — Standard Mechanical

SEMI E19 — Standard Mechanical Interface (SMIF)

SEMI E83-0714 (technical revision)

スケジューリングコンポーネントは装置のアイドルタイムを減らすため，（サブストレートおよび耐久材に関する）材料搬送と処理を調整することによって所用時間（TAT）を最小限に抑えることができる。スケジューリングコンポーネントはセットアップタイムを最小限にするように活動を並べることができる。予定された装置ダウンタイムおよび予定外の装置ダウンタイムに対応して所用時間への影響を最小限にすることもできる。TAT全体を最小限に抑えるだけでなく，緊急ロットのプライオリティに対応するため，緊急ロットを可能な限り短い時間でプロセスフロー内を移動させ，それによって影響を受けるプライオリティの低いロットのスケジューリングを調整することもできる。

as technology advances to smaller and smaller dimensions for the elements of high density integrated circuits

Although nanotopography measurements have not been needed for 0

G07900 - SEMI G79 - Specification for Overall Digital Timing Accuracy Revision:SEMI G79-0200 - Inactive SEMI E19 — Standard MechanicalThis Standard was technically approved by the global Automated Test Equipment Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on December 24, 2011. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in May 2012; originally published February 2000. This Standard is intended to provide a minimum common definition of timing accuracy specifications for semiconductor automatic test equipment